半导体净化车间

半导体净化车间是半导体生产过程中必不可少的工序,它包括光扩散等工艺环节。

半导体制造中,洁净室主要指光扩外延等生产区，半导体净化车间的定义 半导体洁净室的等级一般分为四级。

净化车间级别

光学级(Class) 100级(100μm≤p≤10μm)

粒子流级(10μm≤p≤100μm)

微尘粒度(1微米以下)1200级(1100μm≤p≤11000 μm)1

微米以上微粒 2500—3000 级(21000—31000 μ m ≤ p 30000—35000 μ m ) 35000—41000 级(410000—45000 μ m ≤ p 50000 μ m 以下) 42000级以上

超净间(ULTRAZONE Rooms),也称为无菌室或生物安全柜,其空间要求比千级洁净室更高。

在超净间内工作的人员必须穿特殊的隔离服并带面罩和手套才能进入室内操作。

超净间的空气通过高效过滤器后由风机压入并通过装有高效过滤器和紫外灯管组合的送风口送到室内.再经过初效过滤器滤除大颗粒灰尘.最后通过UPS循环风系统排出到室外.整个空气净化过程都在密闭的空间内进行.因此超净间的空气中几乎不存在微生物及粉尘微粒之类的污染物.由于没有气流死角且风速很高,因而可最大限度地减少工作人员在呼吸时引入尘埃而引起的疾病。

半导体净化车间的特点

(1)高洁净度:半导体生产的关键工序——光扩散等工艺均需在高洁净度的环境中进行;

(2)高安全性:无尘环境使产品得到有效保护;

(3)良好的工作环境:清洁舒适的工作环境使人心情愉悦 ;

(4)节约能源与资源 :无尘车间对空调能耗的要求低;

(5)降低生产成本:提高工作效率;

(6)改善劳动条件:改善了工人劳动条件和作业环境 ;

(7)提高产品质量稳定性:提高了产品的质量稳定性。